膜状涂布喷嘴，涂布装置及涂布方法

摘要

明之目的系在于提供可将来自连通至吐出口之所有流路的流入量予以均匀化，将涂布隙缝(gap)之影响最小化，以进行较先前技术精度优良之膜状涂布的技术。

主权项

一种膜状涂布喷嘴，系具备有：具有分叉路构造之分叉区块；具有于长边方向上扩开性所形成之吐出口之前端构件；及设置复数根具有连通至上述分叉路构造之细管流入口及连通至上述前端构件之吐出口之细管流出口之细管而成之管部者；其特征为，上述分叉区块具备有复数段由使连通至流入口之流路分叉之室所构成之分叉部，其系构成为到藉由在同一段所设置之分叉部所分叉之流路之流出口为止的长度为相等；上述前端构件具有构成朝下方开口之吐出口之沟槽部，其系构成为上述吐出口之端面之短边方向的长度S较上述细管流出口之内径D为长，上述细管流出口系约略均等间隔地配设在上述沟槽部之最深面；上述分叉区块及/或上述前端构件系由可组装及自由分解之复数个模组所构成，且可将各模组的组合设定为可变。