用于沉积电浆涂层至一容器上的方法与装置

摘要

本发明揭露一种用以电浆沉积一容器之内侧表面的方法与装置，以对气体传输提供有效之屏障。该方法提供一种将非常薄且几乎零缺陷之有机聚矽氧烷及矽氧层迅速且均匀沉积于一容器之内部表面上的方法，使屏障性能增加不只一倍。