具有一振动阻却系统之座标量测装置

摘要

本发明揭示一种具一探针之座标测量装置，其包括一具一用以接触被测量之物件(15)之感测组件(18)之针(14)；一经由弹性构件(19)连结于该针(14)之支撑单元(13)；以及藉由在传导材料中产生涡电流而使该针(14)阻却振动之磁铁构件(46)。该弹性构件(19)包括至少一由传导材料制之叶状弹簧(41)，以及该等磁铁构件(46)于该叶状弹簧(41)中产生涡电流。