一种MEMS自对准高低梳齿及其制造方法

摘要

本发明公开了一种MEMS自对准高低梳齿及其制造方法，属于MEMS技术领域。自对准高低梳齿包括一端固定在衬底上而另一端与活动梳齿或者固定梳齿连接的抬升结构，抬升结构在生长应力作用下产生垂直方向的位移带动其连接的活动梳齿或者固定梳齿移动。采用SOI硅片，SOI的正面单晶硅器件层即为MEMS结构的机械结构层，引入的抬升机构与梳齿对依次形成于机械结构层上，由同一步刻蚀工艺形成固定梳齿和活动梳齿，由抬升结构中的应力将固定梳齿与活动梳齿在垂直方向上产生一定位移，从而形成了自对准高低梳齿，相对于多层机构的MEMS省去了多次键合的工艺，简化了制造工艺，大大降低加工成本和加工难度，提高成品率。

主权项

一种MEMS自对准高低梳齿，其特征在于，包括活动梳齿，固定梳齿和一端固定在衬底上而另一端与活动梳齿或者固定梳齿连接的抬升结构，所述抬升结构由至少二段弯曲梁和至少一段直梁组成，所述弯曲梁与所述直梁一起构成至少一个折弯的折叠梁结构，所述弯曲梁使所述折叠梁结构在垂直方向产生位移，从而带动与折叠梁结构连接的活动梳齿/固定梳齿与固定梳齿/活动梳齿处于不同平面，形成所述的MEMS自对准高低梳齿。