複合基板および機能素子

摘要

窒化ガリウム単結晶からなる種結晶１の育成面１ａに錐状または切頭錐状の突起２が規則的に配列されている。種結晶の育成面１ａ上にフラックス法によって厚さ１００μｍ以下の窒化ガリウム結晶層４が直接形成されている。