| 摘要 |
구조광 조명을 연속적으로 조절 가능한 초고해상도 현미경 이미징 방법 및 시스템에 있어서, 컴퓨터(34), 광원(12), 가변 스케일 푸리에 변환 광경로, 위상 분할기(9), 더블 텔레센트릭 투영광학계(19), 개구수가 큰 대물렌즈(30), 샘플 플랫폼(32)과 에어리어 스캔 카메라를 포함하되, 푸리에 변환 광경로는 제1 푸리에 변환 렌즈 또는 렌즈 그룹(8)과 제2 푸리에 변환 렌즈 또는 렌즈 그룹(10)을 포함하고, 위상 분할기(9)는 양자 사이에 위치하고, 제2 푸리에 변환 렌즈 또는 렌즈 그룹（10)와의 거리는 연속적으로 조절 가능하고, 푸리에 변환 광경로의 광축을 감싸면서 회전하는 운동 자유도를 갖는다. 상기 구조광 조명을 연속적으로 조절 가능한 초고해상도 현미경 이미징 방법 및 시스템은 연속 가변 공간 주파수의 간섭무늬를 원활하게 실현할 수 있고, 공초점 현미경 광학계의 구조광 필드 조명에 사용되며, 공간 초고해상도 이미징을 실현하고, 나노초 스트로브 분폭조명 모드에서, 초고해상도 현미경 이미징을 실현할 수 있을 뿐만 아니라, 나노 검출 안정성 및 검출 속도를 향상시키고, 샘플의 동적 검출 분석을 진행하여, 순간적 나노 구조의 검출을 실현할 수 있다. |
