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빛의 상쇄 간섭 효과를 이용하여 위상반전 물질층만으로 블라인더 효과를 도모함으로써 마스크 제조 공정의 단순화로 생산 수율을 향상시킬 수 있는 상쇄 간섭 효과를 이용한 하프톤 위상반전 마스크 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 상쇄 간섭 효과를 이용한 하프톤 위상반전 마스크는 매트릭스 형태로 서로 이격 배치되며, 각각 광이 투과되는 투과 영역 및 광의 투과율이 조절되는 위상반전 영역을 구비하는 복수의 활성 영역과, 상기 복수의 활성 영역의 외측에 배치되는 블라인드 영역을 갖는 투명 기판; 상기 투명 기판 상의 위상반전 영역에 형성되어, 입사광의 투과율을 조절하는 위상반전 패턴; 및 상기 투명 기판의 블라인드 영역에 위상반전 패턴과 동종 재질로 동일한 두께로 형성되어, 복수개가 상호 이격 배치되는 홀 어레이 패턴;을 포함하되, 상기 위상반전 패턴과 홀 어레이 패턴은 하기 식 1 및 식 2를 만족하는 범위로 형성된 것을 특징으로 한다. 식 1 : 해상도 공식에서 k1 = 0.25 미만의 패턴 크기 식 2 : 투과 영역을 통과하는 빛의 양이 패널에 입사되는 빛의 양 = 위상반전 패턴을 투과하는 빛이 패널에 입사되는 빛의 양 |
