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发明名称
具有容易更换的介面单元之半导体测试系统
摘要
本发明揭示一子组件,以助于更换用于一自动测试系统之介面单元。所揭示的实施例系显示其具有一操控器与一测试器之一自动测试系统。该介面单元系一装置介面板(DIB)。该子组件系允许DIB为易于接近,而还可为适当对准至测试系统。并无特殊的工具系为所需以更换DIB。
申请公布号
TW200305962
申请公布日期
2003.11.01
申请号
TW092108074
申请日期
2003.04.09
申请人
泰瑞丹公司
发明人
尼尔R 班特列;邱迈克;韦恩 沛狄多
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
林镒珠
主权项
地址
美国
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