| 发明名称 |
PROCESS FOR FORMING ELECTRICALLY STABLE DOPED EPITAXIAL LAYERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3600242(A) |
申请公布日期 |
1971.08.17 |
| 申请号 |
USD3600242 |
申请日期 |
1968.10.03 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
MELVIN BERKENBLIT;ARNOLD REISMAN;THOMAS B. LIGHT |
| 分类号 |
C30B25/02;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):01L7/36;01B13/06 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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