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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG INSBE SONDERE DES PLANARTYPS
摘要
申请公布号 DE1958807(B2) 申请公布日期 1972.01.20
申请号 DE19691958807 申请日期 1969.11.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/033;H01L21/285;H01L21/312;H01L21/60;H01L23/29;H01L23/485;(IPC1-7):01L1/14 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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