| 发明名称 |
VARIABLE DEPTH ETCHING OF FILM LAYERS USING VARIABLE EXPOSURES OF PHOTORESISTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3649393(A) |
申请公布日期 |
1972.03.14 |
| 申请号 |
USD3649393 |
申请日期 |
1970.06.12 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
MICHAEL HATZAKIS |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/263;H01L49/02;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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