| 发明名称 |
METHOD OF DEPOSITING A METAL OXIDE FILM BY ELECTRON BOMBARDMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3704216(A) |
申请公布日期 |
1972.11.28 |
| 申请号 |
USD3704216 |
申请日期 |
1969.09.11 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
WARREN O. KINSTLEY;DAVID R. SIVERTSEN |
| 分类号 |
C23C16/04;C23C16/40;C23C16/48;(IPC1-7):C23F7/02;B01K1/00 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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