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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5369587(A) 申请公布日期 1978.06.21
申请号 JP19760145323 申请日期 1976.12.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IMAOKA KAZUNORI;MITSUJIMA EIJI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/283 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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