| 发明名称 |
GLOW DISCHARGE DEPOSITION APPARATUS WITH SHIELD FOR PREVENTING THE DEPOSITION OF NONHOMOGENEOUS FILMS ONTO THE SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
IL69712(D0) |
申请公布日期 |
1983.12.30 |
| 申请号 |
IL19830069712 |
申请日期 |
1983.09.13 |
| 申请人 |
ENERGY CONVERSION DEVICES INC |
发明人 |
|
| 分类号 |
B01J19/08;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;H01L31/04;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
