发明名称 MODULAZIONE DELL'ESPOSIZIONE DI UNO STRATO DI FOTORESIST IN CORRISPONDENZA DI BORDI DI APERTURE CON METODI DIFFRATTIVI.
摘要
申请公布号 IT8783648(D0) 申请公布日期 1987.08.11
申请号 IT19870083648 申请日期 1987.08.11
申请人 SGS MICROELETTRONICA S.P.A. 发明人 LAURA BACCI;MARCO BURASCHI;GIORGIO DE SANTI
分类号 H01L;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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