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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A SEMICONDUCTOR BODY WITH A BURIED SILICIDE LAYER
摘要
申请公布号
US5236872(A)
申请公布日期
1993.08.17
申请号
US19920848612
申请日期
1992.03.09
申请人
U.S. PHILIPS CORP.
发明人
VAN OMMEN, ALFRED H.;OTTENHEIM, JOZEF J. M.;DEKEMPENEER, ERIK H. A.;VAN HOFTEN, GERRIT C.
分类号
H01L29/73;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/334;H01L21/335
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
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