发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A SEMICONDUCTOR BODY WITH A BURIED SILICIDE LAYER
摘要
申请公布号 US5236872(A) 申请公布日期 1993.08.17
申请号 US19920848612 申请日期 1992.03.09
申请人 U.S. PHILIPS CORP. 发明人 VAN OMMEN, ALFRED H.;OTTENHEIM, JOZEF J. M.;DEKEMPENEER, ERIK H. A.;VAN HOFTEN, GERRIT C.
分类号 H01L29/73;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/334;H01L21/335 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
地址