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发明名称 IMPROVED ENVIRONMENTAL SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0753200(A1) 申请公布日期 1997.01.15
申请号 EP19940922723 申请日期 1994.07.25
申请人 ELECTROSCAN CORPORATION 发明人 KNOWLES, W., RALPH;SCHULTZ, WILLIAM, G.;ARMSTRONG, ALLEN, E.
分类号 H01J37/18;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/256;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/256 主分类号 H01J37/18
代理机构 代理人
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