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发明名称
SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH1093047(A)
申请公布日期
1998.04.10
申请号
JP19960245364
申请日期
1996.09.17
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
NOGUCHI MITSUHIRO
分类号
H01L29/78;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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