发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1093022(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960246669 申请日期 1996.09.18
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KATAOKA SHIGERU
分类号 H01L23/522;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/824 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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