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发明名称 QUARTZ TUBE CONNECTION CLAMP OF SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0165363(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950052716 申请日期 1995.12.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, CHUNG-BAE;CHOE, SANG-KOOK;KWAN, JUNG-HWAN;JA, TAE-CHUL
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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