发明名称 Tungsten nitride as an oxygen diffusion barrier when used with tantalum pentoxide as part of a metal-oxide-metal capacitor
摘要
申请公布号 GB9929376(D0) 申请公布日期 2000.02.09
申请号 GB19990029376 申请日期 1999.12.10
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/82;H01L21/8242 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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