| 发明名称 |
Resist stripping composition and process for stripping resist |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG76645(A1) |
申请公布日期 |
2000.11.21 |
| 申请号 |
SG20000000943 |
申请日期 |
2000.02.24 |
| 申请人 |
MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. |
发明人 |
ABE KOJIRO;FUKUDA HIDEKI;ABE HISAKI;MARUYAMA TAKETO |
| 分类号 |
H01L21/027;C09K3/00;C11D3/33;C11D3/36;C11D3/39;C11D3/395;C11D7/10;C11D7/60;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):C09K13/00;G03F7/00;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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