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发明名称
摘要
申请公布号	JP3125759(B2)	申请公布日期	2001.01.22
申请号	JP19980226417	申请日期	1998.08.11
申请人		发明人
分类号	H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82	主分类号	H01L21/82
代理机构		代理人
主权项
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