发明名称 |
Complementary division condition determining method and program and complementary division method |
摘要 |
<p>A complementary division condition determining method and program and a complementary division method able to propose the optimum complementary division conditions</p> |
申请公布号 |
EP1469345(A2) |
申请公布日期 |
2004.10.20 |
申请号 |
EP20040291022 |
申请日期 |
2004.04.16 |
申请人 |
SONY CORPORATION |
发明人 |
ASHIDA, ISAO;NAKAYAMA, KOHICHI |
分类号 |
G03C5/00;G03F1/20;G03F1/22;G03F7/20;G06T1/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/16 |
主分类号 |
G03C5/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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