发明名称 Complementary division condition determining method and program and complementary division method
摘要 <p>A complementary division condition determining method and program and a complementary division method able to propose the optimum complementary division conditions</p>
申请公布号 EP1469345(A2) 申请公布日期 2004.10.20
申请号 EP20040291022 申请日期 2004.04.16
申请人 SONY CORPORATION 发明人 ASHIDA, ISAO;NAKAYAMA, KOHICHI
分类号 G03C5/00;G03F1/20;G03F1/22;G03F7/20;G06T1/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/16 主分类号 G03C5/00
代理机构 代理人
主权项
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