电浆处理系统静电夹盘高电压控制

摘要

一种电浆处理系统。该电浆处理系统包含一静电夹盘(ESC)，位于一电浆处理室内并用以支撑一晶圆。该ESC包含提供一第一力至该晶圆的一正端子(+ESC)以及提供一第二力至该晶圆的一负端子(－ESC)。该电浆处理室亦包含一第一跨阻抗放大器(TIA)及一第二TIA，用以量测一第一组电压，该第一组电压用以计算施加至该正端子之一正负载电流值。该电浆处理系统亦包含一第三TIA及一第四TIA，用以量测一第二组电压，该第二组电压用以计算施加至该负端子之一负负载电流值。