发明名称 PHOTOELEKTRISCHE EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER PHOTOSCHICHT HIERFUER
摘要
申请公布号 DE1564544(B2) 申请公布日期 1971.05.19
申请号 DE19661564544 申请日期 1966.11.12
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;G03G5/043;G03G5/082;H01J29/45;H01L31/00;(IPC1-7):H01L15/00 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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