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发明名称 VERFAHREN ZUM SELEKTIVEN AETZEN EINES HALBLEITERMATERIALS
摘要
申请公布号 DE1771909(B1) 申请公布日期 1971.07.29
申请号 DE19681771909 申请日期 1968.07.30
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC 发明人 WHEELER BLAIR JOHN
分类号 C30B31/06;C30B33/00;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):C23F1/02 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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