发明名称 SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 US3616450(A) 申请公布日期 1971.10.26
申请号 USD3616450 申请日期 1968.11.07
申请人 PETER J. CLARK 发明人 PETER J. CLARK
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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