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经营范围
发明名称
SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号
US3616450(A)
申请公布日期
1971.10.26
申请号
USD3616450
申请日期
1968.11.07
申请人
PETER J. CLARK
发明人
PETER J. CLARK
分类号
H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00
主分类号
H01J37/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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