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<P>A.DETECTEUR DE PRESSION MONOLITHIQUE A SEMI-CONDUCTEURS AVEC DES ELEMENTS PIEZO-RESISTANTS, AINSI QUE PROCEDE POUR SA FABRICATION.</P><P>B.DETECTEUR CARACTERISE EN CE QUE LA MEMBRANE EST DE FORME ELLIPTIQUE DE MANIERE A OBTENIR UNE BONNE LINEARITE. SUR LE SUBSTRAT 1 DE SILICIUM N, SE TROUVE LA COUCHE EPITARQUE 2 DE RESISTANCE OHMIQUE ELEVEE QUI, DANS LA ZONE DE LA CAVITE 3 CREUSEE PAR CORROSION A PARTIR DU BAS, CONSTITUE LA MEMBRANE 4. DANS CETTE MEMBRANE, SONT INTEGREES LES RESISTANCES PIEZO-RESISTANTES 5 QUI PEUVENT ETRE PUREMENT OHMIQUES (ZONE P DIFFUSEE OU IMPLANTEE) OU CONSTITUEES DE TRANSISTORS, PAR EXEMPLE DE 4TRANSISTORS A EFFET DE CHAMP A GRILLE ISOLEE.</P><P>C.L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT AU CONTROLE DU FONCTIONNEMENT DES MOTEURS D'AUTOMOBILES.</P>
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