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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS5616675(A) 申请公布日期 1981.02.17
申请号 JP19790091686 申请日期 1979.07.20
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 OKANO HARUO;HORIIKE YASUHIRO;SHIBAGAKI MASAHIRO;HORIE HIROMICHI
分类号 C23F4/00;C23F1/00;H01J37/08;H01L21/30;H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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