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发明名称 ELECTRON LITHOGRAPHY APPARATUS
摘要
申请公布号 GB8412698(D0) 申请公布日期 1984.06.27
申请号 GB19840012698 申请日期 1984.05.18
申请人 PHILIPS ELECTRONIC & ASSOCIATED INDUSTRIES 发明人
分类号 H01L21/027;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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