发明名称
摘要
申请公布号 JPS6141150(B2) 申请公布日期 1986.09.12
申请号 JP19780058431 申请日期 1978.05.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 INOE MICHIHIRO;TAKEMOTO TOYOKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/337;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L27/06;H01L29/06;H01L29/80;H01L29/808 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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