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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6141150(B2)
申请公布日期
1986.09.12
申请号
JP19780058431
申请日期
1978.05.16
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
INOE MICHIHIRO;TAKEMOTO TOYOKI
分类号
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/337;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L27/06;H01L29/06;H01L29/80;H01L29/808
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
地址
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