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发明名称
Positive type photoresist material
摘要
申请公布号
US4889791(A)
申请公布日期
1989.12.26
申请号
US19890304790
申请日期
1989.01.31
申请人
NIPPON OIL CO., LTD.
发明人
TSUCHIYA, SHOZO;AOKI, NOBUO;SUZUKI, SHINICHIRO
分类号
G03C1/72;G03F7/004;G03F7/039
主分类号
G03C1/72
代理机构
代理人
主权项
地址
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