发明名称 Positive type photoresist material
摘要
申请公布号 US4889791(A) 申请公布日期 1989.12.26
申请号 US19890304790 申请日期 1989.01.31
申请人 NIPPON OIL CO., LTD. 发明人 TSUCHIYA, SHOZO;AOKI, NOBUO;SUZUKI, SHINICHIRO
分类号 G03C1/72;G03F7/004;G03F7/039 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
地址