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发明名称 SEMICONDUCTOR HEAT TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0234914(A) 申请公布日期 1990.02.05
申请号 JP19880186112 申请日期 1988.07.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MURAKISHI TAKEO;ARIMA HIDEKAZU
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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