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发明名称
MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0387040(A)
申请公布日期
1991.04.11
申请号
JP19890224856
申请日期
1989.08.30
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
YAMASAKA CHIKAHITO
分类号
G01R31/26;G01R31/00;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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