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经营范围
发明名称
AUTOMATIC FOCUS SYSTEM FOR ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH03163737(A)
申请公布日期
1991.07.15
申请号
JP19890303833
申请日期
1989.11.21
申请人
JEOL LTD
发明人
ITO TAKASHI
分类号
H01J37/22;H01J37/21;H01J37/26
主分类号
H01J37/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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