发明名称 VAPORIZER
摘要
申请公布号 JPH04218675(A) 申请公布日期 1992.08.10
申请号 JP19900403044 申请日期 1990.12.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAGUCHI TORU;TSUTAHARA KOUICHIROU
分类号 B01J7/02;C23C16/44;C23C16/448;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 B01J7/02
代理机构 代理人
主权项
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