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发明名称
Method of plasma chemical vapor deposition of layer with improved interface.
摘要
申请公布号
EP0630989(A3)
申请公布日期
1996.01.03
申请号
EP19940109547
申请日期
1994.06.21
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
ROBERTSON, ROBERT;KOLLRACK, MARC MICHAEL;LEE, ANGELA T.;TAKEHARA, TAKAKO;FENG, GUOFU JEFF;CONNOLLY, ROBERT;LAW, KAM;MAYDAN, DAN
分类号
H01L21/302;C23C16/02;C23C16/509;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/50
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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