发明名称
摘要
申请公布号 JP2684960(B2) 申请公布日期 1997.12.03
申请号 JP19930163374 申请日期 1993.07.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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