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经营范围
发明名称
Charged particle beam apparatus
摘要
申请公布号
GB9801512(D0)
申请公布日期
1998.03.25
申请号
GB19980001512
申请日期
1998.01.23
申请人
HITACHI LIMITED
发明人
分类号
H01J37/20;H01J37/02;H01J37/147
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
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