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发明名称 MIXING TANK FOR APPARATUS OF WET PROCESS
摘要
申请公布号 KR0132222(Y1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950040163U 申请日期 1995.12.12
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 PARK, ILL-RYONG
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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