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发明名称 FIXING BOAT OF FORMING SEMICONDUCTOR OXIDATION FILM
摘要
申请公布号 KR0131996(Y1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950045192U 申请日期 1995.12.21
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SANG-KYUNG;MIN, BYUNG-HO
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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