| 发明名称 |
SUBSTRATE SURFACE TREATING APPARATUS AND SUBSTRATE SURFACE TREATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0168192(B1) |
申请公布日期 |
1999.02.01 |
| 申请号 |
KR19950016644 |
申请日期 |
1995.06.21 |
| 申请人 |
DAI NIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. |
发明人 |
OHASI, YASHIKO |
| 分类号 |
B65G49/07;B08B3/04;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/677;H05K13/00;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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