| 发明名称 |
EVALUATING METHOD FOR TREATED SUBSTRATE AND PURIFYING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1144643(A) |
申请公布日期 |
1999.02.16 |
| 申请号 |
JP19970200388 |
申请日期 |
1997.07.25 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;PURE RETSUKUSU:KK |
发明人 |
SAITO MASAMI;TOMITA HIROSHI;NADAHARA SOUICHI;MURAOKA HISASHI |
| 分类号 |
G01N21/62;H01L21/304;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/62 |
主分类号 |
G01N21/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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