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发明名称 REFLECTIVE OVERCOAT FOR REPLICATED DIFFRACTION GRATINGS
摘要
申请公布号 EP0953161(A1) 申请公布日期 1999.11.03
申请号 EP19980902491 申请日期 1998.01.12
申请人 CYMER, INC. 发明人 MORTON, RICHARD, G.;BLASIAK, THOMAS C.
分类号 G02B1/10;G02B5/18;H01S3/08;(IPC1-7):G02B5/18;B05D5/06 主分类号 G02B1/10
代理机构 代理人
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