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经营范围
发明名称
涂布装置
摘要
〔课题〕本发明系提供一种有利空间,且能连续在玻璃基板上,涂上涂布液的涂布装置。〔解决手段〕在基台1上装有一对轨道2,2,在此对轨道2,2的中间,装置着基板载置台3,以平面视之,以垂直交叉于前述轨道的基板载置台的宽度方向中心线L为基准,其左右侧有第一及第二门形移动机构4,5独立在前述轨道间,并架设成可以行走,在此些第一及第二门形移动机构4,5中,狭缝喷嘴6,7保持成可以升降。
申请公布号
TW200630165
申请公布日期
2006.09.01
申请号
TW094141923
申请日期
2005.11.29
申请人
东京应化工业股份有限公司;达摩股份有限公司
发明人
高濑真治;山口和伸;楫间淳生;谷本恒夫;山本夕记
分类号
B05C11/08;G03F7/16
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本
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