发明名称 涂布装置
摘要 〔课题〕本发明系提供一种有利空间,且能连续在玻璃基板上,涂上涂布液的涂布装置。〔解决手段〕在基台1上装有一对轨道2,2,在此对轨道2,2的中间,装置着基板载置台3,以平面视之,以垂直交叉于前述轨道的基板载置台的宽度方向中心线L为基准,其左右侧有第一及第二门形移动机构4,5独立在前述轨道间,并架设成可以行走,在此些第一及第二门形移动机构4,5中,狭缝喷嘴6,7保持成可以升降。
申请公布号 TW200630165 申请公布日期 2006.09.01
申请号 TW094141923 申请日期 2005.11.29
申请人 东京应化工业股份有限公司;达摩股份有限公司 发明人 高濑真治;山口和伸;楫间淳生;谷本恒夫;山本夕记
分类号 B05C11/08;G03F7/16 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本