CeO2微粒子之制造方法及含有该微粒子之研磨用浆料

摘要

本发明系提供结晶性高，组成及粒子径之均匀性优异，粒子径小之CeO2微粒子之制造方法，及含有该微粒子之研磨用浆料。依序包括得到含有以氧化物基准之莫耳％表示之5至50％之CeO2、10至50％之RO(R系1种以上选自Mg、Ca、Sr、Ba所成群)、30至75％之B2O3之溶融物之步骤，及急速冷却上述溶融物而形成非晶质物质之步骤，自上述非晶质物质析出CeO2结晶之步骤，及自所得之结晶化物分离上述CeO2结晶之步骤为特征之CeO2微粒子之制造方法。并且，含有0.1至20质量％之该微粒子之研磨用浆料。