用于微电子基板之稳定化,非水性清洁组合物

摘要

本发明提供用于清洁微电子装置之非水性剥离及清洁组合物，该组合物具有至少一种作为剥离溶剂之有机含硫极性化合物、至少一种强氢氧化物硷之无水来源及至少一种抑制有害副反应之羟基啶稳定剂。