感光性树脂组成物及使用其之光阻薄膜

摘要

本发明系提供解析力、密黏稳定性、光阻剥离性优越之感光性树脂组成物及光阻薄膜。本发明为一种感光性树脂组成物，系含有含羧基聚合物(A)、乙烯性不饱和化合物(B)及光聚合起始剂(C)者，其特征为，含羧基聚合物(A)系含有甲基丙烯酸(a1)、含苯基乙烯系单体(a2)及下述(1)式所示之化合物(a3)作为共聚合成分之共聚合体，相对于总共聚合成分，甲基丙烯酸(a1)的含量为22~35重量％，含苯基乙烯系单体(a2)的含量为20~35重量％。