发明名称 METHOD OF POLISHING SEMICONDUCTOR WAFERS BY USING DOUBLE-SIDED POLISHER
摘要
申请公布号 KR100779554(B1) 申请公布日期 2007.11.27
申请号 KR20027015401 申请日期 2001.05.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;B24B37/08;B24B37/27;B24B37/28 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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